Atelier Spectrométrie de masse : analyse de gaz et plasmas froids
Nantes
Atelier Spectrométrie de masse : analyse de gaz et plasmas froids
du 23 au 25 novembre 2016 à l’ICMN, Nantes
Objectifs : Initier les participants à la technique de spectrométrie de masse appliquée à l’analyse de gaz et des plasmas froids. En particulier, il s’agit d’offrir une formation aux principes de base de la technique, à l’acquisition et l’interprétation des données aux jeunes chercheurs et à tous les chercheurs et ingénieurs qui souhaitent mettre en oeuvre des mesures par spectrométrie de masse. Il s’agit aussi de développer l’expertise des utilisateurs non spécialistes pour ce qui concerne des applications « pointues ». Enfin l’atelier vise aussi à faire le point sur les évolutions des techniques instrumentales et d’analyse des données et à favoriser les échanges entre utilisateurs pour un partage d’expérience et une diffusion des savoir-faire et compétences vers les moins aguerris.
Programme : L’atelier a abordé les principes de base de la spectroscopie de masse appliquée à l’analyse des gaz et des plasmas froids, ainsi que des utilisations plus avancées de cette technique (mesure de pression partielle, mesure à haute pression, analyse temporelle, analyse des ions négatifs, distribution en énergie des ions). Il a abordé aussi les aspects expérimentaux pratiques sur l’acquisition, l’effet des paramètres de réglage et l’analyse des données ainsi que les pièges classiques à éviter. Le déroulement de l’atelier s’est articulé autour de sessions de cours et de séances de travaux pratiques. Des exposés d’utilisateurs et des temps de discussion et d’échange ont permis aux participants de présenter une application particulière ou d’exposer leurs interrogations vis à vis de la technique.
Les exposés suivants ont été présentés :
Les analyseurs de gaz résiduels (R. Levallois, GANIL)
Analyse de plasma par spectrométrie de masse (F. Boulard, LETI)
Analyse en temps réel des Composés Organiques Volatils (COV) par spectrométrie de masse : application à la dégradation des polluants par plasma froid (M. Héninger, LCP)
Détection d’ions négatifs en plasmas par spectrométrie de masse (G. Cartry, PIIM)
Time-resolved diagnostics of pulsed plasmas etching processes (G. Cunge, LTM)
